FlexTMDSense

-  Erforschung  neuartiger,  flexibler  Sensorsysteme  auf Basis zweidimensionaler  Materialsysteme


Im Rahmen des BMBF geförderten ForMikro Projekts FlexTMDSense - „Erforschung neuartiger, flexibler Sensorsysteme auf Basis zweidimensionaler Materialsysteme“ werden ultradünne pH- und Gassensorsysteme auf Basis zweidimensionaler (2D) Halbleiterfilmen aus der Materialkasse der Übergangsmetalldichalkogenide erforscht. Die 2D-Elektronik/Sensorik ist transparent, flexibel und biokompatibel. Dabei besitzt die Technologie für dieses hochaktuelle Feld der Mikroelektronik - basierend auf 2D-Materialien - noch nicht den für industrielle Massenanwendungen notwendigen Reifegrad. Im Projekt FlexTMDSense wird eine innovative, monolagengenaue Depositions- und Abtragstechnologie bei niedrigen Temperaturen zur Herstellung kostengünstiger, flexibler, ultrasensitiver, elektronischer Gas- und pH-Sensoren erarbeitet und anschließend im industriellen Maßstab in einer 8-Zoll Clusteranlage hergestellt. Neuartige Präkursoren werden synthetisiert und großflächige Filme monolagengenau mittels Atomlagenabscheidung (engl. atomic layer deposition ALD) aufgewachsen. Die niedrigen Prozesstemperaturen ermöglichen einen skalierbaren bottom-up Ansatz auf flexiblen Substraten bei einem gleichzeitig hohen Oberflächen- zu Volumenverhältnis. Durch den leichten und flexiblen Aufbau der Sensoren bieten sie sich insbesondere für einen Einsatz im Gesundheitsbereich und für intelligente Verpackungen an. Durch den kostengünstigen und ressourcenschonenden Ansatz ist eine hohe Breitenwirksamkeit in unterschiedlichsten Anwendungsbereichen, z. B. der Gesundheitsüberwachung oder wearables zu erwarten.

Forschungspartner:




Industriepartner: