Aktuelles
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22. Februar 2024
News zum Cluster Tool 
Ein speziell angefertigtes Cluster Tool, das im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum genutzt wird, bietet faszinierende neue Möglichkeiten für die Elektronik-Forschung. Später sollen die Ergebnisse zum Beispiel in der Mikroelektronik genutzt werden. Über das besondere Gerät des Forschungslabor Mikroelektronik Bochum ist jetzt ein Artikel im Magazin Silicon Semiconductor erschienen.Außer blinkenden Lämpchen und einem lauten Brummen, das den Raum erfüllt, ist kaum zu erahnen, dass etwas in diesem großen Gerät vor sich geht. Doch das Cluster Tool, das für das Projekt ForLab PICT2DES genutzt wird, hat es in sich: Es ermöglicht neue Grundlagenforschung zur elektronischen Nutzung von ultradünnen Schichten für die 2D-Elektronik. Ein solches prozessintegriertes Cluster Tool ist eine Anlage, in der komplette Prozessfolgen ohne Bruch des Vakuums durchgeführt werden können: Das ist insbesondere für die schnell alternden dünnen Filme wichtig, um eine direkte Kapselung in der Anlage durchzuführen. Das Tool wurde speziell für das Labor angefertigt, um beispielsweise viele Zugänge für die Charakterisierung des Plasmas zu schaffen und darauf aufbauend eine wissensbasierte Prozessentwicklung durchzuführen – Anlagen „von der Stange“ bieten diese Möglichkeiten nicht. Auf diesem Weg können die Forschungsergebnisse schneller von der Industrie genutzt werden, zum Beispiel in der Medizintechnik, zur Entwicklung sehr empfindlicher Sensoren oder für die ultraskalierte Mikroelektronik. Über die Möglichkeiten des Tools ist jetzt ein Artikel im Silicon Semiconductor Magazine erschienen. Das Cluster Tool wird bereits erfolgreich im Projekt FlexTMDSense genutzt. Die Forschungsergebnisse sollen später zum Beispiel für Sensoren im Gesundheitsbereich, für Wearables oder für intelligente Verpackungen genutzt werden. Weitere Infos zum Cluster Tool gibt es bei der Firma Sentech und bei ForLab PICT2DES. |
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27. Juni - 30. Juni 2023 Graphene Conference 2023 
Dieses Jahr fand die "13. Graphene Conference" an der University of Manchester, Großbritannien statt - der Heimatstadt des Graphens. Zahlreiche Beiträge zu den Themen Graphen und weiteren 2D-Matrialien wurden dabei von internationalen Teilnehmern aus Europa, Asien und Amerika vorgestellt.Auch der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik der Ruhr-Universität Bochum war im Rahmen des Projekts FlexTMDSense vertreten. Unter dem Titel „Low temperature PEALD of MoS2 on 200 mm glass and silicon dioxide coated silicon wafers” nahm Julia Jagosz mit einem Posterbeitrag an der Konferenz teil. Neben der Vorstellung des durch das ForLab erworbene Clustertool ForLabPICT2DES, wurden vor allem auch die Ergebnisse, der damit hergestellten PEALD MoS2-Schichten auf 200 mm Wafern vorgestellt. Foto rechts: Julia Jagosz neben ihrer Posterpräsentation |
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26. Juni 2023 Rigorosum Rahel Neubieser 
Wir freuen uns mit Rahel Neubieser, die am 26. Juni 2023 ihre Dissertation mit dem Titel „Gas Sensor based on Transition Metal Dichalcogenides for Detection of Nitrogen Dioxide and Ammonia“ erfolgreich verteidigt hat. Herzlichen Glückwunsch vom ganzen FlexTMDSense Team und alles Gute für die Zukunft! |
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29. Mai - 2. Juni 2023 EuroCVD/BalticALD 2023 
Vom 29. Mai bis zum 2. Juni fand die diesjährige „EuroCVD/BalticALD“ in Leuven, Belgien statt. Das ganze IMC-Team repräsentierte die Ruhr-Universität auf dieser Konferenz mit einem breitem Spektrum an Beiträgen zur Präkursor Entwicklung für die Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD). https://imc.ruhr-uni-bochum.de/2023/06/12/eurocvd-baltic-ald-2023 Dabei durfte Martin Wilken neuste Forschungsergebnisse unter dem Titel: „Single source precursor approach towards MoS2 thin films via MOCVD” im Rahmen des Flex-TMDSense Projektes vorstellen. Foto rechts: Martin Wilken neben seiner Posterpräsentation |
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27.-29. März 2023 20. Konferenz für Plasmatechnologie (PT20) Vom 27.-29. März 2023 fand die 20. Konferenz für Plasmatechnologie (PT20) an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik in Bochum statt, ausgerichtet vom Lehrstuhl AEPT und der Deutschen Gesellschaft für Plasmatechnologie e.V. Auf der Konferenz gab es Beiträge aus Forschung und Industrie zu einem breiten Spektrum an Anwendungen von Plasmen, wie der Umwelttechnik, Oberflächentechnik, sowie auch die Prozessierung auf Atomlagenbasis (ALD, ALE). Aus dem FlexTMDSense-Projekt waren Anjana Devi von der AG Chemie anorganischer Materialien und Friedrich Witek von SENTECH Instruments GmbH vertreten |
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21.-22. März 2023 ALD4Industry Anjana Devi, Harish Parala, David Zanders und Martin Wilken repräsentierten das IMC-Team als auch das „Flex-TMDSense“ Projekt in Dresden auf der „ALD4Industry“ Konferenz. Diese Tagung stellt eines der wichtigen Netzwerktreffen der deutschen Halbleiter-Industrie dar. Dabei hatte David die Ehre einen „invited tutorial“ über die neusten Entwicklungen und Trends im Bereich der Präkursor Chemie zu halten. Weitere Details sind unter https://imc.ruhr-uni-bochum.de/2023/05/05/2216 zu finden. |
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12./13. September 2022 ALPIN-Workshop 
Der ALPIN-2022-Workshop zu ALD-bezogenen Aktivitäten in Deutschland fand am 12. und 13. September 2022 im Fraunhofer IMS in Duisburg statt. Er wurde von Prof. Anjana Devi (AG Chemie Anorg. Materialien, RUB und Fraunhofer IMS) und Dr. Marvin Michel (Fraunhofer IMS) organisiert. Das FlexTMDSense-Projekt war mit vier mündlichen Beiträgen der Forschungspartner (Dr. M. Michel, R. Neubieser, Prof. A. Devi, Dr. C. Bock), einem mündlichen Beitrag des Industriepartners (Herr Zessin, Sentech Instuments GmbH) und vier Postern vertreten. Die Präparation und Integration von 2D-Materialien im industriellen Maßstab war ein zentrales Thema der Veranstaltung. |
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18. Juli 2022 Best-Poster-Award für Bochumer Nachwuchswissenschaftler 
Thomas Berning, Doktorand am Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik der Ruhr-Universität Bochum, wurde auf der Konferenz „Graphene2022“ (05.-08. Juli 2022) in Aachen für seinen Beitrag „Nucleation and growth studies of large area deposited WS2 on flexible substrates“ mit einem „Best-Poster-Award“ ausgezeichnet.(https://www.grapheneconf.com/2022/awards.php) Die Graphene 2022 ist eine der größten internationalen Konferenzen im Bereich der zweidimensionalen (2D) Materialien mit 564 Teilnehmern aus 37 Ländern und 137 Posterbeiträgen. Herr Berning zeigte neueste Ergebnisse zum Wachstum des 2D Materials Wolframdisulfid (WS2) auf dem kristallinen van der Waals Material Muskovit Mica und auf flexiblem Glas. Im Rahmen seiner Forschung möchte Herr Berning die außergewöhnlichen elektronischen Eigenschaften des WS2 für flexible HF-Transistoren (https://fflexcom.de/index.html%3Fp=592.html) nutzbar machen. Das direkte Wachstum von 2D Materialien und deren Integration in Bauelemente und Mikrosysteme bildet dazu die Basis und ist ein zentrales Thema des interdisziplinären Forscherteams des ForLab PICT2DES (https://www.forlab.tech/ueber-forlab/forlab-pict2des/) in Bochum. Die herausfordernde 2D Technologie im 200-mm-Wafermaßstab wird im BMBF Projekt ForMikro FlexTMDSense erarbeitet und für neue flexible Sensorsysteme angewendet. |
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14. Juni 2022 Nach zwei Jahren Corona bedingter Pause konnte erstmals wieder ein Projekttreffen in Präsenz an der Ruhr-Universität Bochum durchgeführt werden. Trotz ausgereifter digitaler Konferenzmöglichkeiten zeigte sich, dass ein physischer Austausch wieder sehr effizient war und die vielen spannenden Sichtweisen und Themen noch besser zusammenbringen kann. Nach der Mittagspause gab es Gelegenheit sich den Reinraumbereich des Lehrstuhls MST anzusehen und das Cluster-Tool mitsamt seiner umfangreichen Infrastruktur im Einsatz zu sehen. 
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01. Juni 2022 Wir freuen uns, Florian Beckfeld im FlexTMDSense-Team begrüßen zu dürfen. Im Rahmen des
Projekts wird er Ätzprozesse mit einem breiten Spektrum an Plasmadiagnostiken untersuchen und so
zu einer erkenntnisbasierten Entwicklung monolagengenauer Ätzprozesse von TMD-Filmen
beitragen. |
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19. Oktober 2021 Ätzende und beschichtende Niedertemperaturplasmen zur Oberflächenbehandlung von großflächigen Substraten (> 0.1 m2) stellen einen wichtigen Zwischenschritt innerhalb der Prozesskette zur Herstellung nanostrukturierter Schichten dar. Die Anforderungen an den Herstellungsprozess sind dabei sehr hoch. So muss die Inhomogenität der Schichteigenschaften über eine große Substratfläche für viele Anwendungen unter einem Prozent liegen. Der Grad der Inhomogenität des Ätz- oder Beschichtungsergebnisses hängt hierbei stark von dem ortsaufgelösten Ionenfluss und der Ionenenergieverteilung auf der Substratseite ab. Beide Größen können mit einem Sensorarray an Gegenfeldanalysatoren ortsaufgelöst gemessen werden. Um die erhaltenen Daten sinnvoll interpretieren zu können, hat das AEPT-Team eine Methode zur relativen Kalibrierung von Sensorarrays entwickelt und erfolgreich in der Anwendung getestet. Im Rahmen des FlexTMDSense-Projektes wird es dem AEPT-Team in Zukunft dadurch möglich sein den Einfluss maßgeschneideter Spannungssignale (engl.: Voltage Waveform Tailoring) auf die räumliche Verteilung des Ionenflusses und der Ionenenergie in dem Reactive Ion Etching Modul des Clustertools zu untersuchen. Relative calibration of a retarding field energy analyzer sensor array for spatially resolved measurements of the ion flux and ion energy in low temperature plasmas. Stefan Ries, Manuel Schroeder, Marc Woestefeld, Carles Corbella, Ihor Korolov, Peter Awakowicz and Julian Schulze Review of Scientific Instruments 92, 103503 (2021). |
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31. August 2021 Wolframsulfid (WS2) gilt als eines der vielversprechendsten 2D-TMD Materialien für sensorische und katalytische Anwendungen. Für die Herstellung von WS2 hat die Arbeitsgruppe um Prof. Anjana Devi einen neuen CVD Prozess entwickelt bei dem ein neuer Wolframpräkursor und elementarer Schwefel zum Einsatz kommen. So konnten ultradünne Schichten mit wenigen Monolagen großflächig hergestellt werden und die sensorischen und katalytischen Eigenschaften untersucht werden. Die Ergebnisse der Studie wurden im Journal of Materials Chemistry C veröffentlicht: Sensing and electrocatalytic activity of tungsten disulphide thin films fabricated via metal–organic chemical vapour deposition. Jan-Lucas Wree, Jean-Pierre Glauber, Denis Öhl, Alessia Niesen, Aleksander Kostka, Detlef Rogalla, Wolfgang Schuhmann and Anjana Devi J. Mater. Chem. C, 2021, 9, 10254-10265. |
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12. Januar 2021 Die Arbeitsgruppe Chemie anorganischer Materialien hat gemeinsam mit dem Lehrstuhl Mikrosystemtechnik ihre Ergebnisse zur Schichtabscheidung und Charakterisierung dünner, hochkonformer Y2O3 Filme auf Basis des neuen Präkursors tris(N,N'-diisopropyl-formamidinato)yttrium(III) [Y(DPfAMD)3] veröffentlicht. Dabei wurde eine Permittivität von 13.9 erzielt, so dass eine Anwendung als high-k Dielektrikum möglich ist. Gleichzeitig ist dieser Prozess vielversprechend zur Kapselung der ultrasensitiven TMD Filme. Atomic layer deposition of dielectric Y2O3 thin films from a homoleptic yttrium formamidinate precursor and water. N. Boysen, D. Zanders, T. Berning, S. M. J. Beer, D. Rogalla, C. Bock, A. Devi RSC Advances, 2021, 11, 2565-2574. |
01. Januar 2021
 Dr.-Ing. Stefan Ries und M.Sc. Julia Jagosz stärken das FlexTMDSense Team.Herr Ries wird mittels umfangreicher Diagnostiktools Plasmaprozesse charakterisieren und neue schädigungsarme Plasmaätzprozesse zur Strukturierung ultradünner Übergangsmetall-Dichalkogenidfilme mittels voltage-waveform tailoring erarbeiten. Frau Jagosz wird flexible pH Sensorsysteme auf Basis von großflächig abgeschiedenen Übergangsmetall-Dichalkogenid-filmen herstellen, charakterisieren und optimieren. Die Innovationen liegen dabei in der Abscheidungstechnologie (PEALD/ALD) der 2D Materialien bei niedrigen Temperaturen auf großen, flexiblen Substraten (200 mm Wafer) in hoher Qualität, sowie im weiteren Prozessieren der empfindlichen Schichten durch Passivieren, Strukturieren und Kontaktieren. |
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02. Oktober 2020 Das FlexTMDSense Konsortium freut sich über die Anfrage der Firmen Airbus und Sentech Instruments GmbH auf Mitgliedschaft im FlexTMDSense Vorhaben. Beide Firmen stellten im Rahmen des Projekttreffens am 28.9.2020 das Unternehmen, sowie die geplante Projektbeteiligung vor. Das FlexTMDSense Team begrüßt die Teilnahme am Projekt und findet darin eine passgenaue Stärkung des Konsortiums im Bereich der Aufbau- und Verbindungstechnik bzw. der Plasmatechnik/ in-situ Plasmadiagnostik. |
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15.-17. September 2020 Das ForMikro Projekt FlexTMDSense präsentierte und vernetzte sich auf dem ForLab Halbzeittreffen. Das Treffen fand aufgrund der Corona Pandemie online statt und wurde vom ForLab PICT2DES (Bochum) organisiert. Im Anschluss fand der 8. GMM Workshops Mikro-Nano-Integration statt. Dort stellte das Fraunhofer Institut IMS Duisburg und die Ruhr-Universität Bochum erste Ergebnisse aus dem ForMikro Projekt vor: Concept for two-dimensional TMDs as Function Layer for Gas Sensing Applications R.-M. Neubieser, A. M. Knauß, M. Michel, S. Weyers, Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems IMS, Duisburg Strukturierung von großflächig abgeschiedenen Übergangsmetall-Dichalkogenid Filmen für den Einsatz in der 2D-Elektronik Th. Berning, J.-L. Wree, A. Devi, C. Bock, Ruhr-Universität Bochum MNI 2020 Programm |
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28. August 2020 Für das großflächige Wachstum innovativer, hochkonformer, fehlerfreier 2D-Schichten steht derzeit die Auswahl geeigneter Präkursoren im Fokus der Forschung. Die Arbeitsgruppe um Prof. A. Devi konnte erfolgreich einen neuen Präkursor für MoS2 synthetisieren (1,4-ditertbutyl-1,4-diazabutadienyl-bis(tertbutylimido) molybdenum(VI) [Mo(NtBu)2(tBu2DAD)]), charakterisieren, großflächig abscheiden und als einen geeigneten Kandidaten für CVD Prozesse ausmachen. Die Ergebnisse zu diesem Präkursor sind jetzt veröffentlicht und können unter: https://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2020/dt/d0dt02471f nachgelesen werden. |
29. Mai 2020
Prof. Anjana Devi bekommt von der Aalto-Universität (Finnland) die Ehrendoktorwürde verliehen. Sie wird für ihre herausragende Forschung auf dem Gebiet der Präkursorsynthese und Dünnfilmpräparation mittels Atomlagenabscheidung beziehungsweise der Gasphasenabscheidung geehrt. Seit vielen Jahren koordiniert Sie internationale Forschungsverbünde.Wir gratulieren Frau Prof. Devi zu dieser besonderen Auszeichnung und freuen uns, sie im FlexTMDSense Team dabei zu haben, um uns gemeinsam den Herausforderungen der 2D Elektronik zu stellen. Pressemitteilung Aalto Universität: https://www.aalto.fi/en/news/honorary-doctors-in-technology-2020 Pressemitteilung Ruhr-Universität Bochum: https://news.rub.de/leute/2020-05-27-ehrendoktortitel-finnische-universitaet-zeichnet-anjana-devi-aus |
15. Januar 2020 Malte Becher startet als Doktorand am Lehrstuhl für Laseranwendungstechnik an der Ruhr-Universität Bochum. Er wird innerhalb des FlexTMDSense Projekts die 2D Filme mittels Raman Spektroskopie charakterisieren und mittels UKP Laser eine Phasentransformation des TMD Films herbeiführen. |
02. Januar 2020 Wir begrüßen Rahel-Manuela Neubieser im FlexTMDSense Team. Seit heute arbeitet sie am Fraunhofer Institut IMS an der Erforschung neuartiger, flexibler Gassensoren auf Basis von großflächig abgeschiedenen 2D Filmen. |
13. Dezember 2019 Das kick-off Treffen zum FlexTMDSense Projekt fand am Freitag, den 13. Dezember 2019 in Mainz statt. Auf Einladung der Schott AG trafen sich die Projektpartner und der Projektträger des Verbundprojekts FlexTMDSense nahezu vollzählig am Hauptsitz des Glasherstellers. Neben dem gegenseitigen Kennlernen und dem Vorstellen der einzelnen Expertisen, stand das technologische Anforderungsprofil an die flexiblen Glas- und Polymersubstrate im Fokus der Diskussionen. Der Tag endete mit einer Tour durch die „World of SCHOTT“. |